Российские ученые из МФТИ, ИХФ им. Семенова, МГУ и ИПХФ создали механизм лазерного нанесения структур на стекло с разрешением в 1000 раз меньше ширины человеческого волоса, говорится в сообщении пресс-службы МФТИ. Фокусировка лазера производилась с помощью маленьких стеклянных сфер, играющих роль линз. Такой механизм позволяет дёшево и достаточно просто наносить сложные структуры на поверхность стекла, получая при этом пространственное разрешение менее 100 нанометров.
Предложенный метод позволит достаточно быстро и дёшево создавать сенсоры и микросхемы наномасштабов. Как говорят учёные, он намного дешевле и технологически проще своих конкурентов, при том что позволяет наносить заданные с компьютера рисунки на поверхности стекла с приемлемым разрешением.

Для демонстрации этого метода на стекло была нанесена аббревиатура Института Химической Физики (ICP) с высоким разрешением (около 100 нанометров). Наногравировка, в частности, используется для создания сверхточных схем в микрофлюидике: по выгравированным каналам может течь рабочая жидкость, соединяя различные части схемы, и размеры такой схемы тем меньше, чем больше разрешение гравировки.

Фемтосекундный лазер, используемый учёными, позволяет наносить сложные двумерные и трехмерные структуры на поверхность прозрачного материала. Разрешение — минимальный размер детали такой структуры — всегда проблема в такого рода задачах, так как оно ограничено снизу (по физическим соображениям) длиной волны лазера. Чем выше разрешение, тем меньше размер наносимых структур, и тем интереснее и востребованнее эти структуры в технологии.

Для улучшения разрешения очень часто применяют эффект ближнего поля. Этот способ предполагает фокусировку луча лазера, используя в качестве «линз», металлические наночастицы или слой диэлектрических микросфер. Однако эти методы усложняют нанесение, так как «линзы» фиксированы в пространстве.

В своей работе авторы предлагают другой подход: с помощью пучка света в жидкости создают своеобразную ловушку, куда помещают стекляные микросферы. Преимущество такого способа фокусировки состоит в том, что эту «ловушку» можно передвигать, тем самым сдвигая «линзы» в пространстве и фокусируя лазер на необходимую область стекла.

Однако просто «провести» лучом лазера по поверхности недостаточно. Воздействие лазера приводит к образованию бугорков, а не впадин. Эти бугорки достаточно негладкие и широкие, однако воздействие щёлочи при температуре 90° С превращает бугорки в гладкие ямки уже меньшей ширины. Если при таком двухшаговом структурировании достигается разрешения ниже 100 нанометров (нм), то при одношаговом, когда поверхность обрабатывается только лазером, точность получается не ниже 150-200 нм, в зависимости от сложности структур.

В итоге, вся технология нанесения выглядит следующим образом. Вначале поверхность стекла облучается фемтосекундным лазером. Импульс лазера фокусируется с помощью стекляного шарика, который направляется с помощью оптической «ловушки», в заданную заранее область